纳米电子束相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

纳米电子束相关论文

纳米电子束光刻若干工艺技术的讨论

电子束光刻系统具有很高的电子扫描成像精度,是实验室条件下进行纳米加工不可缺少的工具,在应用于微、纳米加工中需要解决几个关键......

会议

半导体工业器件制造光刻工艺纳米电子束

纳米电子束曝光

JEOL JBX-5000LS是矢量扫描的电子束曝光机，系统采用LaB6灯线，可以工作在25KV和50KV的加速电压下，对该系统的分辨率、稳定性、场拼接......

期刊

纳米电子束曝光分辨率套刻精度半导体稳定性 electron beam lithography systemresolutionoverlay accu

看过本文同时还关注