纳米级电子束曝光机相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

纳米级电子束曝光机相关论文

DY-2001A型纳米级电子束曝光机中静电偏转器的设计

基于纳米曝光要求和JSM-35CF型扫描电镜,设计了一组上下偏转器长度不一致的静电偏转器,使偏转灵敏度大大提高.采用二阶有限元法计......

期刊

DY-2001A型纳米级电子束曝光机静电偏转器设计二阶有限元光刻技术 electrostatic deflector second-order fin

看过本文同时还关注