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微纳间隙中Parylene-C填充和纳米颗粒晶体研究
本论文的研究分成两个部分,第一部分开展了微槽内Parylene-C填充的物理模型和实验研究,以及微纳间隙中Parylene-C填充的两个典型应用......
学位
微纳间隙
Parylene-C填充
纳米颗粒晶体
微槽几何参数
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