纵向载流子浓度分布(SRP) 相关硕士博士期刊学术论文

在已经制作有埋层的衬底上生长外延层，为了控制图形畸变和漂移而选取了较高的工艺温度，导致了严重的自掺杂。通过对比实验探讨了常用......