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结构静电耦合相关论文
一种双端固支微梁结构-静电耦合分析及仿真
双端固支梁平板电容结构广泛应用于微机械电容式传感器中,传感器的量程与平板电容的吸合有关,因此精确快速地求解电容极板下拉电压......
期刊
双端固支梁
结构静电耦合
耦合场分析
解析解推导
下拉电压
仿真分析
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