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绝缘材料上的硅相关论文

基于SOI材料的刻蚀光栅分波器的制作工艺

研究了基于绝缘材料上的硅(SOI)材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺．利用电感耦合等离子体刻蚀(ICP)技术，在SOI材料上制作......

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刻蚀光栅波导镜电感耦合等离子体刻蚀绝缘材料上的硅分波器 etched diffraction gratingswaveguide turning mir

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