绝缘衬底硅相关论文
SOI是英文Silicon-On-Insulator的简称,意为绝缘衬底上的硅.它通常有两种基本结构,如图1所示.第一种结构的绝缘衬底为蓝宝石,如图1......
利用SILVACO软件的两个组件ATHENA和ATLAS对SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器进行工艺实现和特性研究。利用ATHENA模块完成各工艺步骤......
