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缓冲保护层相关论文
m面GaN基薄膜材料的生长与研究
近年来GaN基LED等光电子器件得到迅猛发展,目前商品化生产的LED器件是在α-Al2O3和SiC等衬底上制作的,然而在这些衬底上制备的器件......
学位
氮化镓薄膜
单晶m面
缓冲保护层
外延生长
硅掺杂
结晶性能
光学性质
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