本文描述利用凸凹翘曲现象的可调加速度开关的设计制造和测试。一套ＳｉＯ２／Ｐ＾＋－Ｓｉ双层晶体梁加工成不同长度８００μｍ、９９０μｍ和１０００μｍ。在加工中，双层晶体梁因两......