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聚氨脂树脂相关论文
以聚硅烷为抗蚀剂的激光光刻研究
用自制的聚硅烷为抗蚀剂,分别用酚醛树脂、聚氨脂树脂和醇酸树脂作平坦层以308nmXeCl准分子激光为刻蚀光源,采用接近式曝光方式,通过O〈,2〉-RIE对显影......
会议
聚硅烷
抗蚀剂
聚氨脂树脂
准分子激光
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酚醛树脂
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