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本文讨论了制造Ｓｐｉｎｄｔ型聚焦场发射阵列ＦＦＥＡ过程中需要的对准技术，提出了具有自对准能力的刻蚀方法，满足了聚焦型发射阵列的聚焦极与门极的精确......
