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报道了聚酰亚胺薄膜在高能（６５０ｋｅＶ－２ＭｅＶ）Ｂ＾＋、Ｃ＾＋和Ｃｕ＾＋离子注入后硬度的变化。对注入样品进行了显微硬度测量和ＸＰＳ及ＲＢＳ分析，观察了硬度与离子种类、能量及注入剂......

现代信息产业中电子、微电子和光电子元件的高功率化、高密度化、高集成化与高运行速度，迫切需要新一代同时具有高热导、低介电常数......