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背沟道保护型相关论文
TFT5次光刻背沟道刻蚀型与保护型工艺
5次光刻工艺(简称5PEP)是一种新的研究,分为背沟道刻蚀型和背沟道保护型。5PEP改变了TFT结构和原理,相对于常用的7 PEP可缩短生产周......
期刊
薄膜晶体管
5次光刻
背沟道刻蚀型
背沟道保护型
a-Si岛
TFT 5PEP back-channel-etching back-channel protec
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