背沟道刻蚀型相关论文
研究了保护层对背沟道刻蚀型IGZOTFT性能及其稳定性的影响.结果显示,在正电压应力下TFT的阈值电压正向漂移.通过数据分析得知,保护......
5次光刻工艺（简称5PEP）是一种新的研究,分为背沟道刻蚀型和背沟道保护型。5PEP改变了TFT结构和原理,相对于常用的7 PEP可缩短生产周......
