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背面引线压力/氢离子敏传感器的研究
报道了一种含微参比电极的差分结构,并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应(pH-ISFET)新结构。基于硅的固相键合......
期刊
背面引线
压力敏
传感器
氢离子敏
backside contact
microreference electrode
Pressure
pH-ISFET
I
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