应用胺基钛源可以降低CVD反应温度,并导出反应机理,指出淀积TiN的热力学可行性条件为P_(H2)=101325Pa,T=360±50℃. The applicat......

应用胺基钛源可以降低CVD反应温度,并导出反应机理,指出淀积TiN的热力学可行性条件为P_(H2)=101325Pa,T=360±50℃.......