脉冲等离子体沉积相关论文
在自主研发的一系列P型导电Cu1-xNixO靶材基础上,选择具有最佳电导率的Cu0.95Ni0.05O靶材,采用脉冲等离子体沉积技术在室温条件下......
透明导电氧化物薄膜(TCO)既具有优良的金属导电性,又具有可见光范围的高透明性,已经成为平板显示器、太阳能电池和透明电子器件中......
p型透明导电氧化物(TCO)薄膜是近年来半导体材料领域的研究热点之一。在已经报道的p型TCO薄膜材料中,还没有任何一种材料的性能可......
本文采用固态反应法成功制备了过渡金属氧化物CuO和NiO的混合物Cu1-xNixO靶材,并首次使用脉冲等离子体沉积方法(Pulsed Plasma Depo......