腐蚀停止相关硕士博士期刊学术论文

利用浓硼扩散腐蚀停止技术制备自由悬空硅薄膜时，在薄膜的表面观察到了呈分形生长的反应生成络合物聚集结构．研究表明，薄膜表面的生成......