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腐蚀形状相关论文
退火对牺牲层腐蚀前端形状和腐蚀速率的影响
从片子的生长工艺出发对腐蚀前端的形状进行了研究。提出了应力是产生腐蚀前端三角形的主要原因的推测,并通过退火实验验证了这一推......
期刊
退火
牺牲层
腐蚀形状
腐蚀速率
annealing treatment sacrificial layer etching profile etching r
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