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膜层非均匀性相关论文
碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术
碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度......
期刊
碲镉汞
红外探测器
表面钝化
膜层非均匀性
HgCdTe infrared detectors surface passivation film uniform
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