采用逆向混合(IMO)溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO/Si(100)和NiTi/Ti/Si(100)基片制备Pb(ZrTi)O薄膜,以PZT/Pt/Ti/SiO/Si和PZT/NiTi多层......

该文用逆向混合(IMO)溶胶-凝胶技术在PT/Ti/SiO/Si(100)和NiTi/Ti/Si(100)两类基片上制备了不同厚度的压电薄膜,得到了3.3μm厚的P......