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膜料沉积角相关论文
真空紫外光学薄膜制备及其性能检测技术研究
为满足精密光学系统的性能需求,真空紫外光学薄膜元件的尺寸和数值孔径越来越大,对制备高性能的真空紫外光学薄膜提出更多的挑战。主......
学位
光学薄膜
真空紫外
光学常数
光度法
膜厚均匀性
修正挡板
膜料沉积角
薄膜光谱性能
薄膜结构
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