自支撑金刚石厚膜相关论文
自支撑金刚石厚膜兼金刚石最高的弹性刚度系数以及最高声速等优异性能，是SAW滤波器合理的基片材料，避免了其它基片散热差的问题。......
在自行研制的直流电弧等离子喷射化学气相金刚石膜设备上,初步研究了衬底温度、甲烷浓度、输入功率和循环气量等工艺参数对沉积金......
运用ANSYS软件建立了有限元模型,对直流等离子体喷射制备的自支撑金刚石厚膜在脱离基体前、后的残余应力分别进行了数值模拟。为了......
讨论了在采用直流电弧等离子体喷射CVD工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题．在制备过程中经常出现的膜炸裂......
讨论了在采用直流电弧等离子体喷射ＣＶＤ工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题，在制备过程中经常出现的膜炸裂现象......
采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学气相沉积技术,以自支撑金刚石厚膜作为衬底,改变缓冲层参数条件,低温沉积氮化镓（Ga N）......
探讨了自支撑金刚石厚膜片的晶体生长模型,并依据模型通过热丝化学气相沉积（HFCVD）法制备了厚度为0.6 mm的自支撑金刚石厚膜片.采用......
