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基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备
研制了一种基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的生物免疫球蛋白传感器,该FBAR采用Al N作为压电层,3对Ti/W金属层作为布拉格声学反射层,工......
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薄膜体声波谐振器
自组装膜法
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