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自缓释相关论文

用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜

采用磁控溅射法,以镍硅合金为靶,制备了一种适用于金属诱导横向晶化的氧化物镍源——自缓释镍源.该镍源在内部构成和晶化现象上都......

期刊

多晶硅薄膜晶化过程硅氧化物低温多晶硅金属镍低温制备与退火自缓释电学性能硅膜磁控溅射法

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