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微磨削加工与光化学等蚀刻加工相比,具有微加工精度高和表面质量高的优点,但是,要获得更高附加值的表面特性需要控制微结构形状精度。......
零部件表面被加工出微结构阵列可以产生新的功能,使系统性能更高。目前,评价微结构功能表面仅仅考虑微细程度和深宽比,所以无法完......
用白光干涉检测(WLI)法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法.该方法分别沿......