荷能粒子相关论文
荷能粒子辐照晶体，入射粒子在晶体中会损失能量并产生损伤。辐照损伤会对晶体的各种物理性质如熔点、介电常数、热导率、杨氏模量等......
<正> 产生适合于光学薄膜沉积的荷能粒子镀膜技术多种多样。在一些很普通的能量粒子沉积工艺中,用辅助离子轰击生长薄膜,或者电离......
类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助ＣＶＤ和ＰＶＤ技术已用来沉积类金刚石膜（ＤＬＣ膜），但其形......
