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蒸镀Cu膜相关论文
薄膜厚度对蒸发制备Cu膜内应力的影响
文章采用电子薄膜应力分布测试仪,对薄膜厚度随Cu膜内应力的变化进行了研究.同时用X射线衍射(XRD)技术测量分析了薄膜的微结构以及......
期刊
内应力
蒸镀Cu膜
薄膜厚度
微结构
residual stress
evaporating Cu film
film thickness
microst
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