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发蓝绿光纳米硅薄膜的快速热处理制备
使用除氢,高温成核和低温生长三段式快速热处理方法,将常规方法制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜晶化成纳米硅(nc-Si)薄膜,该薄膜在波长为457.9nm的Ar^+激光的激发下......
期刊
蓝绿光荧光
纳米硅
薄膜
快速热处理
非晶硅
green/blue photoluminescence
ncSi thin film
RTP
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