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薄膜:非稳态区相关论文
反应溅射法制作AIN膜的组织结构及表面状态
采用对向阴极型溅射法制备AIN薄膜,研究了在不同全压力条件下,Ar%含量对AIN膜的结晶形态、晶体结构、表面状态、硬度和表面粗糙度的......
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溅射
薄膜:非稳态区
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