薄膜变形镜相关论文
自适应光学系统能够实时测量并补偿受各种静态和动态扰动所造成的波前畸变，使光学系统具备自动适应外界条件变化，保持最佳工作状态的......
提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜,理论上研究了静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜的静电驱动力和变形位移与......
建立了微机械连续薄膜变形反射镜的静电力驱动理论模型,推导出微机械连续薄膜变形反射镜的变形位移和驱动电压的关系表达式,利用该......
