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薄膜应变传感器相关论文
薄膜应变传感器结构设计及制备工艺优化研究
切削过程中产生的切削力直接影响着切削热与工件表面加工质量。随着MEMS技术的蓬勃发展,将薄膜应变传感器嵌入刀具体中来实现切削......
学位
薄膜应变传感器
结构优化
制备工艺
工艺参数优化
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