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薄膜栅形电容相关论文

一种薄膜栅形电容结露敏感元件的研制

该文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形电容结露敏感元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设......

会议

薄膜栅形电容结露优化设计方法微加工工艺敏感元件敏感特性露点仪方法及平面控制计算

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