薄膜粗糙度相关论文
超大规模集成电路 (VLSI)线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高 ,缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径 .探索......
采用射频磁控溅射法在不同氧氩比的条件下制备了氧化铪绝缘薄膜,分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对氧化铪薄膜的结构和表面......
在衬底(Si)/Ta/Co/Cu/Co/FeMn/Ta自旋阀中,随着铜层和铁磁层厚度的增加,GMR先增加后逐渐减少,存在最大值.实验发现自旋阀的GMR对底......
薄膜材料巨大的表面积使其具备了一些独特的力学、热学、电磁学和光学性质，因而被广泛的用于军工、机械、医学、新能源等领域。薄膜......
超大规模集成电路(VLSI)线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高,缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径.探索采用......
该文采用MonteCarlo算法，以面心立方结构材料为例，对薄膜生长过程中的应力进行了计算机模拟，同时也模拟了在薄膜生长的过程中表面粗糙......
