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虚拟基片相关论文
低温生长Si层中掺锑对上层SiGe虚拟基片中应变的影响
本文通过分析论证:SiGe虚拟基片是制备具有应变的SiGe/Si基异质结构的基础,其应变状态直接影响成长于其上的SiGe/Si基异质结构的应......
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