衍射仿真相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

衍射仿真相关论文

接近式光刻的角谱法仿真研究

在基于UV-LIGA 技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而......

期刊

紫外曝光接近式光刻快速傅里叶变换衍射仿真

接近式光刻的角谱法仿真研究

在基于UV-LIGA 技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而......

期刊

紫外曝光接近式光刻快速傅里叶变换衍射仿真 UV exposure proximity lithography FFT simulation of diff

看过本文同时还关注