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表面钝化质量相关论文
界面电荷对C—Si表面钝化质量的影响
深入分析了影响晶体硅与钝化介质层界面复合的主要因素:界面态密度(Du)、介质层表面电荷密度、衬底掺杂类型及掺杂浓度。研究发现,随着......
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