覆层测厚仪相关论文
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主要介绍了在利用数显式电感测微仪对覆层测厚仪厚度校准片进行校准时，由测量力引起的压陷误差对校准结果的影响。......
分析了用直接法和比较法测量覆层测厚仪校准厚度片厚度的不确定度来源，并就使用两种测量方法所得结果的不确定度进行了评定。......
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