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计算机辅助设计及工程分析相关论文
磁悬浮精密定位工作台机电一体化CAD/CAE集成研究
本文综述了微电子制造设备发展趋势及其精密工作台如光刻机工作台的国内外发展现状及磁悬浮技术研究进展,简要介绍了光刻机工作台主......
学位
计算机辅助设计及工程分析
磁悬浮
直线电机
光刻机
定位平台
有限元法
电磁场分析
结构力学分析
模态分析
模态试验
原理样机
机电一体化
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