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走带速率相关论文
走带速率对Y2O3隔离层生长的影响
采用反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上连续制备了Y2O3隔离层。用X射线θ-2θ扫描,φ扫描对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描......
期刊
走带速率
Y2O3
隔离层
反应溅射
表面形貌
moving speed Y2O3 buffer layer reactive sputtering surfa
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