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1985年,我设计室先后采用了“注水赶气—充气压水”的置换工艺,分别完成了深圳市煤气公司700m~3松嶺液化石油气站的检修和新建200......
在“介质隔离”的反外延工艺中,有时在淀积多晶硅的过程中会形成较大的颗粒,致使在隔离槽里产生空洞。磨片显示之后,由于空洞处对......
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