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聚合物微器件超声微焊接压印工艺研究
聚合物微器件作为新兴的微电子机械系统器件(MEMS)凭借其独特的材料性能优势正面临快速的发展。与传统的硅基MEMS器件相比,聚合物材料......
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超声微焊接压印
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