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超声浮动抛光相关论文
超高精度大直径硅片表面超声浮动抛光
为了提高大直径硅片表面质量,利用超声浮动抛光加工宏观磨削力、磨削应力、磨削热小,对加工材料表面损伤低的特点,再结合相关磨料对超......
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大直径硅片
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超声浮动抛光
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