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在芯片级铷原子钟中，需要微腔体来承载Rb-87滤光泡，为此，提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐......
本文提出了一种采用超声 AB腐蚀方法显示 GaAs/AlGaAs单晶缺陷的新方法.该方法可以在自然光环境、常温下显示位错露头、位错线、层......
期刊
获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤．首先在理论分析的基础上，确定了微型电容式压力传感器......
