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超导Nb膜表面减反膜技术研究
针对单光子探测芯片中超导Nb膜减反的问题,研究了磁控溅射Nb膜折射率光谱特性随Nb膜厚度变化的规律,同时研究了化学气相沉积法制备......
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计量学
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超导Nb膜
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metrology
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superconducting Nb film
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