超浅结工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

超浅结工艺相关论文

集成电路超浅结工艺的动力学蒙特卡罗模拟研究

针对动力学蒙特卡罗退火模拟需要解决的问题，本文开展了对动力学蒙特卡罗方法退火模拟的全面的研究工作。本文提出了新的高效的动力......

学位

超浅结工艺退火工艺动力学蒙特卡罗集成电路

面向产业需求的21世纪微电子技术的发展（下）

2.1.2新工艺在新器件制备工艺技术方面,超浅结工艺、沟道掺杂工程是器件进入亚100nm领域后需要采用的新工艺技术.......

期刊

微电子技术沟道掺杂超浅结工艺金属栅材料光刻技术

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