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超浅结工艺相关论文
集成电路超浅结工艺的动力学蒙特卡罗模拟研究
针对动力学蒙特卡罗退火模拟需要解决的问题,本文开展了对动力学蒙特卡罗方法退火模拟的全面的研究工作。本文提出了新的高效的动力......
学位
超浅结工艺
退火工艺
动力学蒙特卡罗
集成电路
面向产业需求的21世纪微电子技术的发展(下)
2.1.2新工艺在新器件制备工艺技术方面,超浅结工艺、沟道掺杂工程是器件进入亚100nm领域后需要采用的新工艺技术.......
期刊
微电子技术
沟道掺杂
超浅结工艺
金属栅材料
光刻技术
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