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超精密光学材料离子束抛光工艺技术研究
本文主要研究超精密光学材料表面离子束抛光工艺技术,在分析研究法拉第扫描的离子束电流密度分布参数与去除函数之间关系的基础上,......
会议
超精密光学材料
离子束抛光
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