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微量进给可满足可延性磨削的要求，微量进给装置采用压电陶瓷作为控制元件，通过调节空气轴承供气压力，实现超精密平面磨削０．０１μｍ的微进给量......
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介绍了一种用于超精密平面磨削的新型微量进给装置并对其静、动态特性及控制方法进行了研究。实验结果表明：该装置的位移分辨率为１０ｎｍ，重......
