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超薄二氧化硅膜相关论文
电子从〈100〉和〈111〉晶向硅隧穿超薄快速热氮化SiO2膜
用卤素-钨灯作辐射热源快速热氮化(RTN),在<100>和<111>晶向Si衬底上制备了Si-SiOxNyAl电容,并测量了由低场到F-N隧穿电场范围的电子从N型Si......
期刊
电子隧穿
快速热氮化
晶向硅
超薄二氧化硅膜
遂穿电流
电流传输特性
electron tunneling
rapid thermal nitridation
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