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超薄悬臂梁相关论文
耦合型超薄悬臂梁阵列释放工艺分析
针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象,采用背面湿法腐蚀的释放工艺,研究了液体表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过......
期刊
超薄悬臂梁
释放工艺
粘附现象
表面张力
ultra-thin cantilever release process adhesion phenomenon s
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